中芯n2工艺是一种先进的集成电路工艺技术,其具有高密度、高精度和高可靠性等优点,是当前主流芯片生产工艺之一。多重曝光技术则是中芯n2工艺中一种重要的技术手段,可以实现对芯片的复杂结构的高效曝光,进而提...